Mikroskopie und optische Eigenschaften

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Gerät Gerätedaten Prüfmöglichkeiten
Rasterelektronen-
mikroskop
Auflösung: 5 nm,
Sekundärelektronen- und Rückstreudetektor, digitaler Bildeinzug, Sputtergeräte (Gold, Gold-Palladium , Kohlenstoff), EDX-Anlage, Mikroradiographie
Oberflächentopographie,
Bruchflächenanalyse, Elementanalyse
Lichtmikroskop
(Durchlicht/Auflicht)
Vergrößerung: 25 bis 1000fach,
Dunkelfeld, Polarisation,  Dift.-Interfenzkontrast, Fluoreszenz,  Heiztisch, digitaler Bildeinzug
Begutachtung von An-, Dünnschliffen
und Dünnschnitten,
Thermooptische Untersuchungen
Lichtmikroskop
(Durchlicht)
Vergrößerung: 25 bis 1000fach,
Hellfeld, Polarisation,  Phasenkontrast, Kippkompensator B (5), digitaler Bildeinzug
Begutachtung von Dünnschnitten
und Dünnschliffen, quantitative Polarisation
Lichtmikroskop
(Durchlicht/Auflicht)
Vergrößerung: 50 bis 1000fach, Hellfeld, Polarisation Begutachtung von An-, Dünnschliffen
und Dünnschnitten
Makroskop
(Durchlicht/Auflicht)
Vergrößerungen: 8 bis 80fach, Hellfeld, Polarisation, Foto- und Videoeinrichtung Begutachtung von An-,
Dünnschliffen und Dünnschnitten
Mikrozugeinrichtung
mit Durchlichtmikroskop
max. Prüfkraft: 20 N,
Abzugsgeschwindigkeit: 0.01 bis 50 mm/min, Polarisation, Prüftemperatur: RT, Foto- und Videoeinrichtung
rechnergestützte Versuchsdurchführung,
Zugversuche an Dünnschnitten,
Strukturausbildung unter Belastung,
Dehnung einzl. Strukturschichten
Schlittenmikrotom
Rotationsmikrotom
Schnittdicke: materialabhängig (min. 3µm)
Gefriereinrichtung, Ultrafräse
Dünnschnittherstellung,
Oberflächenbearbeitung
Probentrennsägen
Innenlochsäge

Drehzahl: 100 bis 3000 U/min
Vorschub: 0.1 bis 20 mm/min

Schnittdicke 500-20µm

Schnittdicke: min. 0.5 mm
Probeneinspannung: max. 4 cm
Glanzmeßgerät Glanzwinkel: 20, 60 und/oder 85° Charakterisierung der Oberflächenreflexion
Wave-Scan Meßgerät Charakterisierung der Oberflächenwelligkeit auf  Basis des Reflexionsverhaltens
Plasmaprozessor mikrowellengeneriertes Plasma
Arbeitsdruck: 1 bis 2.5 mbar
Gas: O2, O2 + He
Phyikalisches ätzen
Optischer Großflächen- spannungsprüfer Gesichtsfeld: 300 mm Durchmesser Bestimmung von Eigenspannungen und Orientierungen